超純水可保障集成電路產(chǎn)業(yè)水質(zhì)要求

　　據(jù)悉，近年來，廈門市集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)保持高速增長(zhǎng)，2021年集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值達(dá)308.8億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)18.2%;半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值約500億元，總投資超千億元。當(dāng)前，廈門市已建設(shè)火炬高新區(qū)、海滄臺(tái)商投資區(qū)、自貿(mào)區(qū)高崎園區(qū)等三個(gè)集成電路重點(diǎn)集聚區(qū)域，全市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)超過300家，形成產(chǎn)業(yè)集聚態(tài)勢(shì)。

　　集成電路產(chǎn)業(yè)是信息技術(shù)發(fā)展的核心，是支持現(xiàn)代經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的基礎(chǔ)性和主導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。隨著現(xiàn)在經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展，集成電路的設(shè)計(jì)對(duì)于水質(zhì)要求也是不斷提高，所以在生產(chǎn)中需要用到超純水來保障其性能。

　　近幾十年以來，混床離子交換技術(shù)(D)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學(xué)藥品(酸堿)和工業(yè)純水，并造成一定的環(huán)境問題，因此需要開發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)。

　　正因?yàn)閭鹘y(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需求，于是將膜、樹脂和電化學(xué)原理相結(jié)合的EDI技術(shù)成為水處理技術(shù)的一場(chǎng)革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電能，而不再需要酸堿，因而更滿足于當(dāng)今世界的環(huán)保要求。

　　EDI設(shè)備是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術(shù)MB-DI)生產(chǎn)穩(wěn)定的超純水。萊特萊德超純水系統(tǒng)是將反滲透水處理設(shè)備、電去離子(EDI)設(shè)備和拋光混床相結(jié)合制備超純水的設(shè)備。這不僅是一種制備超純水的新技術(shù)，也是一種環(huán)保、經(jīng)濟(jì)、發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚒?/p>

　　超純水設(shè)備可連續(xù)穩(wěn)定生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)超純水，不會(huì)因樹脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，可為企業(yè)節(jié)省大量空間。與傳統(tǒng)方法相比，超純水設(shè)備具有許多優(yōu)點(diǎn)，可以連續(xù)穩(wěn)定地制備高質(zhì)量的超純水。