熟悉半導(dǎo)體領(lǐng)域的人都知道晶圓,但是對(duì)于不太關(guān)心科技的人來(lái)說(shuō)那就是不曾聽(tīng)聞了。晶圓,簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是半導(dǎo)體電路的核心組件,是一種承載物,是一種是制成半導(dǎo)體積體電路的原材料。
作為半導(dǎo)體電路的重要組成部分,硅晶圓的生產(chǎn)至關(guān)重要,其清洗用水多為高質(zhì)量的超純水,超純水質(zhì)量也影響著硅晶圓產(chǎn)出的質(zhì)量,那么什么樣的超純水設(shè)備才能產(chǎn)出高質(zhì)量的超純水呢?
采用預(yù)處理+反滲透+EDI+拋光混床組合形式的超純水設(shè)備方可制備出高質(zhì)量的超純水。該設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運(yùn)行的時(shí)間長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。設(shè)備應(yīng)用的EDI模塊水處理過(guò)程中不需要添加任何化學(xué)品,不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問(wèn)題,同時(shí)降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用。本模塊不會(huì)有酸堿廢液產(chǎn)生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理系統(tǒng)產(chǎn)出的濃水完全可以回收再利用。
整套設(shè)備主要是消耗電量來(lái)維持系統(tǒng)運(yùn)行,其耗電量比傳統(tǒng)混床工藝低,無(wú)需樹(shù)脂更換,自動(dòng)化性能強(qiáng),無(wú)需人工操作。超純水設(shè)備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,采用的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)相對(duì)靠緊,所以其占地非常小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,在符合硅晶圓生產(chǎn)用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)可以使水資源的利用率達(dá)到95%~99%,有效提升了水資源利用率。
隨著科技的不斷進(jìn)步,半導(dǎo)體行業(yè)不斷的發(fā)展,我國(guó)對(duì)于該行業(yè)的政策支持,使得硅晶圓的市場(chǎng)需求也在不斷增加,超純水的需求也在悄然的增加。
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